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CVD / Diffusion
Etching / Cleaning
NH
3
C
4
F
8
N
2
O
SF
6
NO
F
2
Mix
C
3
H
6
CF
4
Si
2
H
6
CH
2
F
2
GeH
4
Mix
SiCl
4
Implant / Doping
Excimer Laser
BCl
3
Mix
3.5% Ar / 10ppm Xe / Ne
BF
3
0.95% F
2
/ 3.5% Ar / Ne
PH
3
Mix
1.25% Kr / Ne
C
2
H
4
0.95% F
2
/ 1.25% Kr / Ne